Для цитирования:
Тимофеев П.А., Тимофеев А.Н. ТЕРМОДИНАМИЧЕСКАЯ ОЦЕНКА ВОЗМОЖНОСТИ ОСАЖДЕНИЯ БОРИДОВ КРЕМНИЯ ИЗ ИХ ГАЛОГЕНИДОВ. Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2017;(1):58-63. https://doi.org/10.17073/1997-308X-2017-1-58-63
For citation:
Timofeev P.A., Timofeev A.N. THERMODYNAMIC ASSESSMENT OF CAPABILITY FOR DEPOSITION OF SILICON BORIDES FROM THEIR HALOGENIDES. Powder Metallurgy аnd Functional Coatings. 2017;(1):58-63. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1997-308X-2017-1-58-63