Для цитирования:

Сытченко А.Д., Левашов Е.А., Кирюханцев-Корнеев Ф.В. Структура и свойства покрытий Ta–Si–N, полученных методом импульсного магнетронного распыления. Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2021;(2):60-67. https://doi.org/10.17073/1997-308X-2021-2-60-67

For citation:

Sytchenko A.D., Levashov E.A., Kiryukhantsev-Korneev P.V. Structure and properties of Ta–Si–N coatings obtained by pulsed magnetron sputtering. Powder Metallurgy аnd Functional Coatings. 2021;(2):60-67. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1997-308X-2021-2-60-67