Для цитирования:

Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Зачиняев А.Ю., Левашов Е.А. Влияние содержания азота на механические и трибологические свойства покрытий Ta–Si–C–N, полученных методом HIPIMS. Известия вузов. Порошковая металлургия и функциональные покрытия. 2026;20(3):103-113. https://doi.org/10.17073/1997-308X.2026.592P.1140

For citation:

Kiryukhantsev-Korneev P.V., Zachinyaev A.Yu., Levashov E.A. Effect of nitrogen content on the mechanical and tribological properties of Ta–Si–C–N coatings deposited by HIPIMS. Powder Metallurgy аnd Functional Coatings (Izvestiya Vuzov. Poroshkovaya Metallurgiya i Funktsional'nye Pokrytiya). 2026;20(3):103-113. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/1997-308X.2026.592P.1140